Deposición química de vapor
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Deposición química de vapor
La Deposición Química de Vapor 0 DQV) es un proceso químico para depositar delgadas capas de diversos materiales. En un proceso típico de DQV el sustrato es expuesto a uno o más precursores volátiles, que reaccionan o se descomponen en la superficie del sustrato para producir el depósito deseado. También se producen frecuentemente subproductos volátiles, que son removidos por medio de un flujo de gas que pasa a través de la cámara de reacción.
Véase
Categoría: Procesos químicos
Wikimedia foundation.
2010.
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